高真空擋板閥主要性能指標(biāo)參數(shù)
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高真空擋板閥適用范圍:
1×10-6Pa~1.2×105Pa(波紋管密封)
1×10-5Pa~1.2×105Pa(氟膠圈密封)
打開(kāi)時(shí)閥板上的壓差:
≤1.2×105 Pa任意方向
高真空擋板閥閥體和閥座漏率:≤1.3×10-7Pa·L·s-1
建議首次維修前循環(huán)次數(shù): 200,000次
閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置
-手動(dòng)驅(qū)動(dòng):任意-氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):任意
-電磁驅(qū)動(dòng):任意(波紋管密封);密封面朝向真空(氟膠圈密封)
電源
-氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊規(guī)格可定做)
-電磁驅(qū)動(dòng):交流220V或230V 50Hz,起動(dòng)功率800W、保持功率8W
壓縮空氣(只適用于氣動(dòng)):
0.4~0.7MPa
閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉時(shí)間-氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):≤1s
-電磁驅(qū)動(dòng):開(kāi)啟≤0.1s;
關(guān)閉≤1s(氟膠圈密封)、關(guān)閉≤0.5s(波紋管密封)
閥門(mén)位置指示
-手動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示
-氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)(磁性開(kāi)關(guān))
-電磁驅(qū)動(dòng):帶有開(kāi)啟位置指示燈
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